项目名称：原子层沉积-有机蒸镀一体设备

采购单位：化工学院

采购方式：询价

成交单位：东莞纳锋微电子装备有限公司

成交价格：48.9万元

购买数量：1套

产品型号：纳锋/NCE-200R

评审日期：2026年3月10日 

设备主要技术参数：

1基片加热温度最高≥350℃，控温精度≤±1℃；

2反应腔具有独立的双温区加热设计，保证反应腔热壁的状态；

3单片反应腔抽取真空速度须在1分钟内达到5×10-2 Torr，充腔时间须在3分钟内完成；

4为确保没有前驱体冷凝，避免由于冷凝导致交叉污染、堵塞纳米孔洞入口、颗粒等问题，前驱源管路壁具有加热系统，加热温度不低于200℃;

5提供成熟的制程工艺包，如Al2O3、TiO2、HfO2、ZnO、SnO2等薄膜的工艺包

公示时间：2026.3.11-2026.3.17，如有异议请拨打64253334向刘莉莉老师反映。

化工学院

                                                     2026年3月10日