项目名称:抛光机
采购单位:化工学院
采购方式:询价
成交单位:北京特思迪半导体设备有限公司
成交价格:265500元
购买数量:1套
产品型号:TSP-380
评审日期:2022年5月20日
主要技术参数:
1. 主机尺寸:W 800×D 800×H 600 mm
2. 抛光盘:缓慢启动、缓慢停止功能
2.1 尺寸:O.D380 mm
2.2 驱动:电机 0.37 kW
2.3 转速:3~70rpm,无级可调
2.4 冷却:底盘法兰采用特殊的水冷通道,独立冷水机控制实现研磨盘强制冷却
3. 抛光头:
3.1 尺寸:兼容4英寸及以下
3.2 转速1~70rpm,主动驱动电机
3.3 配置摆臂摆动功能,由抛光轴下方可调的限位器控制摆幅
3.4 配置真空压头,兼容真空砝码压头
3.5 加压:通过转动加压调整装置来调整弹簧的压力,以分配外支撑圈和中心压盘的压力,实现对中心压盘压力的控制。如抛光夹具的重量不足时,通过在上部增加砝码来增加压力
3.6 平行度:通过三个螺旋微动调节头调整压头面与外圈的平行度,即中心压盘和外支撑圈的平行度
4. 抛光液供应系统:
4.1 PVC液桶:W 374×D 350×H 400mm,3L,带搅拌功能
4.2 蠕动泵供液,流量可调
4.3 供液通道:1个
5. 工艺程序:PLC控制系统
公示时间:2022.5.23-2022.5.29,如有异议请拨打64253334向王伟老师反映。